Journal de chimie physique et biophysique
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Abstrait

Corrélation entre la concentration en oxydant et les propriétés morphologiques des nanofils de silicium obtenus par gravure autocatalytique à l'argent

Besma Moumni* et Abdelkader Ben Jaballah

Dans ce travail, une corrélation entre la concentration en oxydant et les changements morphologiques des nanofils de silicium formés par une méthode de gravure autocatalytique à l'argent en deux étapes est établie. Elle révèle qu'une surface de silicium texturée apparaît pour les échantillons gravés à une concentration en H2O2 relativement inférieure à 2%. Cependant, la dynamique et la cinétique des nanofils de silicium pour différentes concentrations en H2O2 (5%, 7% et 8%) sont étudiées par microscopie électronique à balayage. Nous avons constaté que l'épaisseur des nanofils de silicium gravés en fonction du temps suit une loi linéaire. La longueur des nanofils de silicium ne dépend pas seulement de la concentration en H2O2 mais est nécessaire pour surmonter la saturation en longueur. Nous prouvons également que le taux d'oxydation des particules d'Ag en contact avec le silicium peut limiter la dynamique de formation des fils, en raison de la génération d'ions hexafluorure de silicium (SiF6)2-.